Polyetherimid (PEI) in Halbleiter -Waferträgeranwendungen

December 14, 2024

Mit der kontinuierlichen Entwicklung der Halbleitertechnologie nehmen auch die Komplexität und die Präzisionsanforderungen des Herstellungsprozesses zu. Als wichtiges Unterstützungsmaterial in der Halbleiterproduktion wirkt sich die Leistung des Waferträgers direkt auf die Verarbeitungsqualität und die Ertrag von Wafern aus. In den letzten Jahren wurde Polyetherimid (PEI) in Halbleiter-Waferträgern mit hervorragenden Leistungsmerkmalen mit leistungsstarken Hochleistungs-Merkmalen häufig eingesetzt und ist zu einer der ersten Auswahlmöglichkeiten für die neue Generation von Waferverarbeitungsmaterialien geworden.

Vorteile von PEI -Materialmerkmalen

Polyetherimid (PEI) ist ein Hochleistungs-Technik-Kunststoff mit einer Reihe hervorragender physikalischer und chemischer Eigenschaften. Erstens ist der Hochtemperaturbeständigkeit von PEI hervorragend und kann den Betriebstemperaturen von bis zu 170 ° C bis 200 ° C standhalten, was es für Hochtemperatur-Tempern, Backen und andere Wärmebehandlungsprozesse, die bei der Herstellung von Halbleiter üblich sind, sehr geeignet sind. Im Vergleich zu herkömmlichen Materialien behält PEI stabile mechanische Eigenschaften und dimensionale Konsistenz bei hohen Temperaturen bei, um den strengen Anforderungen der Waferverarbeitung zu erfüllen.

Darüber hinaus verfügt PEI über ausgezeichnete Eigenschaften der elektrischen Isolierung, die die Schädigung der ESD (Elektrostatische Entladung) bei Wafern während der Halbleiterproduktion effektiv vermeiden können, wodurch die Präzision und Stabilität von Halbleitergeräten schützt. Darüber hinaus ist PEI -Material sehr resistent gegen Chemikalien und kann einer Vielzahl von korrosiven Lösungsmitteln, Säuren und Alkalien und anderen Chemikalien widerstehen, was für die Waferreinigung, die chemische Verarbeitung und andere Verbindungen entscheidend ist, um die Stabilität des Waferträgers langweilig zu gewährleisten Begriff.

Anwendung im Halbleiter -Waferträger

Polyetherimid (PEI) in den Halbleiter -Waferträgern in einer Vielzahl von Anwendungsszenarien, die sich hauptsächlich auf Waferhandhabung, Lagerung, Wärmebehandlung und Reinigung und andere Aspekte konzentrieren. Aufgrund seines hohen Temperaturwiderstandes und seiner hervorragenden mechanischen Eigenschaften ist PEI -Material die ideale Wahl für Wafertransportboxen, Tabletts, Stützständer und andere Träger geworden. Diese Träger sind einer längeren Exposition gegenüber hohen Temperaturen, chemischen Reaktionen und externen Auswirkungen ausgesetzt, und die hohe Festigkeit, die Aufprallwiderstand und die dimensionale Stabilität von PEI ermöglichen es, in rauen Umgebungen konsistent zu funktionieren.

Darüber hinaus garantieren die niedrigen Hygroskopizitätseigenschaften von PEI die Leistung von Waferträgern. Im Halbleiterherstellungsprozess sind Waferträger häufig einer hohen Luftfeuchtigkeit in der Umwelt ausgesetzt. Die niedrige Feuchtigkeitsabsorption von PEI trägt dazu bei, die Konsistenz und Stabilität der Materialleistung aufrechtzuerhalten, um Änderungen der Leistung oder Deformation zu vermeiden, die durch Feuchtigkeitsabsorption verursacht werden.

Marktaussichten von PEI

Mit der kontinuierlichen Verbesserung der Materialleistung der Halbleiterindustrie in den Anforderungen an die Materialleistung ersetzt PEI als leistungsstarke, relativ angemessene Kostentechnik-Kunststoffe allmählich traditionelle Materialien und wird zu einem der am häufigsten verwendeten Materialien in Halbleiter-Wafer-Trägern. Es wird erwartet, dass mit dem technologischen Fortschritt und dem Nachfragewachstum die Marktaussicht auf PEI in der Halbleiterindustrie noch breiter sein wird, insbesondere im Herstellungsprozess, komplexer, hohe Temperaturanforderungen des Waferhandlingsprozesses werden die Vorteile von PEI sein prominenter.

Zusammenfassend ist Polyetherimid (PEI) aufgrund ihres hervorragenden Hochtemperaturwiderstands, der elektrischen Isolierung, der mechanischen Festigkeit und des chemischen Widerstands zu einem Schlüsselmaterial im Bereich des Halbleiter -Waferträgers geworden. In der zukünftigen Entwicklung der Halbleitertechnologie wird PEI weiterhin seine wichtige Rolle bei der Innovation und Entwicklung der Halbleiterindustrie spielen.

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